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高速移動中の大面積形状に対応する低電圧静電気除去装置
−インターネプコン・ジャパンで初披露−

[2007/12/20]


 産業用静電気除去器のAfje(アフジェ)株式会社(茨城県・つくば市)は,(独)産業技術総合研究所から移転された技術「マイクロプラズマイオン発生技術」を活用した“バータイプ”静電気除去器(図1)を開発した。1月16日から18日まで,東京ビッグサイトで開催される「第37回 インターネプコン・ジャパン」にて出展する。市場からのフィードバックを反映させて,2007年度中には発売開始する考えである。

図1:新発売の“バータイプ”静電気除去器
新発売の“バータイプ”静電気除去器

 マイクロプラズマイオン方式は,従来の針方電極によるコロナ放電方式と比べ低い電圧で駆動し,広い領域に高濃度かつイオンバランスの取れたイオンを発生させることができる。今回開発した“バータイプ”静電気除去器は,近年のフラット・パネル・ディスプレイ(FPD)の大型化や各種製造産業工程の高速化に対応するために,同社の従来製品の電極部分をさらにフラット化して改良したもの。バータイプの単体寸法は35cm長で,これを繋げることにより各種寸法のワークに対応することができる。低電圧でイオンを発生させているため電極部分の磨耗・劣化が少なく,長時間の使用が可能。広い面積で放電するので埃などが付着しにくく,清掃作業は半年に一回程度で済む。軽くふき取るだけで元の状態に速やかに戻るのもこのマイクロプラズマイオン方式の利点の一つだ。

 Afje代表取締役社長 斎藤敏男氏は「“バータイプ”を加えてラインナップが増えたことで様々な製造工程への対応が可能になる。現在アプリケーションとして主力の半導体製造産業以外にも,梱包産業や印刷産業など,各種製造工程で発生する静電気の除去に上手く対応できずに困っているところは多いと聞く。出展するインターネプコン・ジャパンにて様々な産業界の方と応用開拓の可能性について話して行きたい」と今後の事業拡大に期待を寄せている。


【ニュースリリース】
  大面積,高速移動の平面形状に対応する静電気除去器を新発売 [2008年01月15日]
【テクニカルノート】
  Afje(アフジェ)株式会社から
発売予定のバータイプ除電器の応用開拓に関する意見交換 [2008年01月15日]

【関連記事】
  ・三光化学,LCD製造用トレーで実績のある静電気対策材料の応用開拓を強化

記事要点掲載先:日経BP.netTech-On!FPD International


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