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[2006/11/30]

ニュースリリース
報道関係者各位
株式会社フィアモ

半導体製造の歩留まり向上に貢献
FIAMOの開発計画を発表
〜「セミコンジャパン2006」で,新製品「FIAMO MX」概要も併せて発表 〜


【新規発表事項】
 金属自動測定装置のテクノロジー・リーダーである 株式会社フィアモ(東京都渋谷区,代表取締役社長:斎藤正)は,最新モニタリング・システム「FIAMO」シリーズの製品開発計画および,最新機種となる「FIAMO-MX」を来る12月6日より開催される「セミコン・ジャパン 2006」(主催:SEMI,会期:12月6日−8日,会場:幕張メッセ,ブース:6C-805)にて発表することを報告します。「FIAMO」シリーズは,半導体やウエハ製造の洗浄工程で,不良品の発生要因ともなっている高純度薬液中の微量金属不純物を,リアルタイムで測定する画期的な薬液管理モニターです。
 今回発表する「FIAMO」シリーズの製品開発計画は,FIAMO社が今まで実施してきました,半導体メーカーやウエハメーカーなど数十社からの聴取に基づき,企業が目指す工程管理・品質管理・不良品発生防止による歩留まりの向上に向けて策定したものです。具体的には,2007年2月に,新たに高濃度薬液やSPM(H2SO4/H2O2)中の金属不純物測定を可能にした「FIAMO-MX」の発売を開始し,「高濃度の酸やアルカリの不純物金属濃度やSPM中の不純物金属濃度を管理したい」といった半導体メーカーのニーズに応えます。更に薬液の濃度測定も同時に行う技術を開発する計画であり,これにより,「オンラインで薬液の成分と不純物金属濃度を同時に管理したい」といったニーズに対して応えていきます。今回出展する「セミコン・ジャパン 2006」での来場者の方々との意見交換などを通じて,製品企画に反映させていきます。

 「FIAMO」は,独自の化学分析技術を持つ当社と,岡山大学・本水昌司教授との共同研究により開発され,同教授の専門のフローインジェクション分析法(flow injection analysis:FIA)を基本技術としています。2004−2005年には東北大学・大見忠弘教授との共同研究を実施しました。国内半導体メーカーでもサンプル評価を積極的に実施しており,今回販売を開始したバージョンも市場のニーズに対応した製品開発の成果です。シリーズ最初の機種である「FIAMO」の販売は,2005年4月から開始しており,大手ウエハメーカーや半導体メーカーに対して,数十台の導入実績があります。

【背 景】
 現在,半導体製造プロセスでは,微細化による洗浄薬液の高純度化と,新材料導入による新たな薬液の使用が進んだことで,洗浄工程のコストが増える一方,洗浄廃液による環境汚染対策も求められています。同システムでは,従来無かった薬液中の金属汚染のオンラインによる連続自動管理を簡便かつ低コストで実現し,不良品の発生を最小限に抑え,環境対策にも大きく貢献します。今回の開発計画は,こうした貢献を更に高めるために洗浄液の各種薬品の濃度を測定し,安定した洗浄能力の確保と薬液の削減を図るというニーズに応えるための技術開発計画を纏めたものであります。

【訴求点】
 今回の開発計画並びにFIAMO-MXの特徴は以下のとおりです。
  ・FIAMO-MXはRCA洗浄液中の金属不純物をICP-MS並みの超高感度(1pptレベル)で測定できます。
  ・FIAMO-MXはSPM(H2SO4/H2O2)中の金属不純物を高感度で測定できます。
  ・FIAMO-MXは高濃度酸(硫酸,硝酸,塩酸等)を高感度で測定できます。
  ・FIAMO-MXは高濃度アルカリ(アンモニア水)を高感度で測定できます。
  ・吸引した洗浄液を,中和法を使って洗浄液中の各種薬品濃度を測定します。
  ・濃度測定後のサンプル液を不純物金属測定流路に導入し,金属を測定します。


【今 後】
 12月6日−8日に幕張メッセで開催される「セミコン・ジャパン 2006」(HALL6/6C-805)にて,金属自動測定装置「FIAMO」,今回策定した開発計画と「FIAMO−MX」の内容を説明します。

●備 考
─ 株式会社フィアモについて ─
 株式会社フィアモは1999年12月の設立以来,金属不純物モニターなどの製造・販売を通じ,半導体産業に対して化学応用技術を提案してまいりました。2002年からは当社モニター「FIAMO」の根幹である分析手法「FIA」(flow injection analysis:フローインジェクション分析)の権威である岡山大学理学部・本水教授との共同研究を開始し,さらに,2004−2005年には東北大学未来研究所・大見教授との共同研究を実施しており,市場に受け入れられる製品開発を常に目指しています。
資本金:17,192万円。 従業員数:17名。

 尚,開発計画中の薬液の濃度測定も同時に行う技術は,NEDO実用化開発助成の支援を受けて開発しました。

【本件に関する問い合わせ先】
株式会社フィアモ   技術営業部部 担当:占部
TEL:03-5468-3661 FAX:03-5468-1145
e-mail:urabe@fiamo.jp URL:http://www.fiamo.jp/

【テクニカルノートはこちら】
  ・ウェーハ,半導体デバイス製造装置組み込みを想定した金属モニター共同開発の提案
  【関連記事】
    ・新材料導入,環境対策,APC,今後の半導体製造の必須テーマに対応した有力技術をフィアモが開発 [2005年9月9日]
    ・酸・アルカリ溶液のリアルタイム計測が可能に
     

記事要点掲載先:Tech-On!


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