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提案書



(1)大学・学部学科・研究室名・氏名
東京大学・工学系研究科 量子相エレクトロニクス研究センター 染谷研究室・准教授

(2)「技術シーズ」名
サブピコリットル印刷プロセスによる有機トランジスタを利用した大面積シートデバイスの開発

(3)技術概要
次世代ユビキタス情報社会で重要な役割を果たす電子人工皮膚など大面積シートデバイスの特性を実用レベルにまで向上することを目的とし,フレキシブル有機トランジスタのゲート絶縁膜を3nmまで薄膜化し,駆動電圧を3Vまで低減いたしました。また,サブピコリットルクラスの超微量な液滴を制御できるインクジェット技術によって有機トランジスタの横方向寸法(チャネル長)を微細化し,さらにインクジェットヘッドや電子機能性インクの最適化を進め,高スループットにサブピコリットルクラスの超微量な液滴を制御できるインクジェット技術を有機トランジスタに応用いたしました。

【図の説明】
【図の説明】有機トランジスタの構造と写真, AFM像
(a) Alゲート,極薄ゲート絶縁膜,真空蒸着した半導体,フェムトリットル以下のインクジェットで印刷した金のソースドレインをパターニングした有機TFTの断面構造
(b) 1 µm,2 µm,5 µmのチャネル長のペンタセンTFTを焼成後の光学顕微鏡の像(線幅は5 µm)
(c) チャネル長5 µm,線幅5 µmのペンタセンTFTのAFM像

(4)特徴・訴求点
サブピコリットルレベルのインクジェット技術を用いて微細化が可能です。
低電圧で駆動します。
インクジェット技術を用いて有機トランジスタを作成できます。

(5)現在注力している業界・分野
電子人工皮膚など大面積シートデバイス

(6)これから応用展開の可能性を探索してみたい業界・企業(アイディアジェネレーション段階)
防犯用の圧力感知マットとして
介護用の圧力感知マットとして

(7)提案事項
ナノテクノロジーに関する国際会議への参加を提案します。


【ニュースリリース】
  ・超微量インクジェット技術による有機トランジスタ製造プロセス技術の開発  [2009年2月25日]




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