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提案書



(1)大学・学部学科・研究室名・氏名
東京工業大学・応用セラミックス研究所・松本研究室・松本祐司

(2)研究テーマ名(NEDO助成技術H19)
複数組成・構造製作された応力センサー材料に対応する応力・電気抵抗変化測定システム

(3)研究テーマの技術・開発段階
・基礎研究段階 

(4)技術概要
 今回開発した応力センサー特性評価システムは,組成や構造が異なる複数の試料が作製された薄膜を,応力をその場で測定するのと同時に,かつ高速に各試料の応力に依存した電気抵抗変化を測定できる技術です。機械的変形を電気的な信号に変換する高感度センサーは,安全・安心の重要性を重んじる昨今の社会にとって増々需要が高まってきています。たとえば,自動車業界では,自動車のハンドルとタイヤとの電子制御の信頼性を向上させる技術として,さらに衝突防止のための車間距離測定技術などに応用される可能性を持ちます。このようにして,応力センサー材料特性評価システムは,企業・研究組織を問わず,材料の構造設計,新材料探索の研究開発などを加速するツールとして有用です。


図
【図の説明】
応力センサー特性評価システムの全体構成(左)とVO2薄膜の応力変化と電気抵抗変化測定結果(右)


(5)特徴・訴求点
従来技術の問題点であった,歪みの時間変化に対する薄膜の電気抵抗変化の応答速度についても調べることが出来ます。
歪みを直接観測し,物性変化も同時に測定することで両者の関係性を精確に得ることが出来ます。
従来は微小領域の測定の点でコンビ試料の測定が困難でしたが,8mm×4mmのサイズの薄膜試料でも計測することが可能となりました。

(6)現在注力している応用分野,将来探索してみたい分野<複数分野可>
・【現在】各種応力センサーの材料開発
・【将来】磁歪材料との組み合わせによるマルチフェロイクスセンサー材料への応用

(7)実用化に向けた課題
・ 多点電気測定のワイヤーボンディングにノウハウが必要。簡易な手法を開発していきます。
・ 学術研究の用途に向けて,真空下での低温測定が可能なシステムへの改良を目指します。

(8)企業に対する提案事項
材料の構造設計や新材料探索といった研究開発などを行っている企業・組織などと幅広く共同開発を進めていきたく存じます。本評価装置をご利用したいと考えている企業・組織などには,デモ計測や技術相談に応じます。




【ニュースリリース】
  ・材料の構造設計・新材料探索を加速する応力・電気抵抗変化測定技術を開発〔2010/02/23〕



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