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提案書



(1)大学・学部学科・研究室名・氏名
東北大学・金属材料研究所・低温電子物性学研究部門・竹延大志

(2)研究テーマ名(NEDO助成技術H18(1))
桁違いに優れた完全透明,低電圧駆動のカーボンナノチューブ薄膜トランジスタ作製技術

(3)研究テーマの技術・開発段階
・応用研究段階

(4)技術概要
図

 インクジェット印刷技術を用いて既存材料に比べて桁違いに優れたカーボンナノチューブ薄膜トランジスタ作製を行っています。これまでに,カーボンナノチューブの膜密度を印刷技術によって精密に制御し,インクジェット法で作製した薄膜トランジスタとしては非常に優れた特性(易動度1.6-8.2cm2/Vs・On/Off比10,000-100,000)を実現しています。今後は,独自に開発したドーピング技術を駆使し,論理回路作製や集積化を進めます。また,特殊な絶縁膜を用いる事により,プラスチック基板上に完全透明かつ低電圧駆動の薄膜トランジスタ作製を行います。


【図の説明】インクジェット法を用いたカーボンナノチューブ薄膜トランジスタ作製。ここでは,電極部分に高密度のカーボンナノチューブ薄膜を,半導体部分に濃度調整した薄膜を用いており,全てインクジェット法を用いて作製している。化学的に安定かつ加熱処理が必要ない印刷可能な電極材料としても,カーボンナノチューブ薄膜は有望である。


(5)特徴・訴求点
・ インクジェット法で高い特性を持つトランジスタが作製可能
・ 極めて優れたフレキシビリティを有しており,曲げに対して非常に強い
・ 化学的な安定性も極めて高く,大気中でも全く劣化しない

(6)現在注力している応用分野,将来探索してみたい分野<複数分野可>
・ 【現在】プリンタブルエレクトロニクスおよびフレキシブルエレクトロニクス全般
・ 【将来】透明フレキシブルエレクトロニクス

(7)実用化に向けた課題
・ 歩留まりの向上,回路設計技術

(8)企業に対する提案事項
カーボンナノチューブ薄膜のエレクトロニクス応用に関して,RFIDタグや電子ペーパー,センサー,ディスプレイ等のフレキシブルデバイス全般の開発に関心もしくは実績を有する企業・組織などと,意見交換や共同開発を提案します。


【ニュースリリース】
  ・長期安定性に優れる高性能CNT薄膜トランジスタの作製に成功〔2010/03/17〕



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